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测量传感器的选择

行程/定位

根据目标物的行程量，可进行非接触式或接触式测量。根据目标物的移动速度和移动距离，
可以提供各种类型的提案。如有疑问，请咨询就近的办事处。

下载目录 CL-3000 系列 彩色激光同轴位移计 产品目录

采用同轴方式测量，即便在很狭小的空间内也可以检测。在内壁不会遮挡住激光的情况下，准确捕捉到动作。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

使用CL 系列支持超高真空的探头，在真空环境内测量载物台位置。通过应用支持4个方向的直角式单元附件，提高安装的自由度。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

接触式检测压入情况。采用夹具测量，测量值的可信度高。

高精度接触式数字传感器

GT2 系列

为保证稳定的涂布精度，涂布喷头与晶圆间准确的距离调整极为重要。CL 系列采用小型探头，易于安装到装置上，即使是硅晶圆等的镜面目标物，也可正确测量距离。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

为正确进行下一道工序进行工件的定位。如果使用在线轮廓测量仪，不易受工件的材质、大小差异等影响，只要在测量范围内，就可以通过绝对值确认位置信息。

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列

进行机械手的示教，以便将工具安装在规定的位置。如果使用二维投影型的测量仪，非常适合轴状物的位置调整。

在线投影图像测量仪

TM-X5000 系列

通过弯曲反射镜，能够确保安装空间进行测量。在检测各种直径的切圆坐标、交点坐标等的同时，还可检查槽口的尺寸、形状有无问题。

在线投影图像测量仪

TM-X5000 系列

隔着视口测量真空环境内的载物台高度。CL 系列产品阵容包括可进行长距离测量的感测头。采用新设计的光学系统，兼具长量程和高精度。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

在真空环境内测量搬运臂的位置。CL 系列的感测头支持超高真空，可捕捉在空气中难以把握的装置动作。此外，采用超小型感测头，亦可安装在装置内部的有限空间中。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列